氦放電型（DID）氣相色譜儀是一種可完成對多種微量氣體成份含量進(jìn)行高靈敏度檢測的新型儀器。放電離子化檢測器（DID）是一種通用的濃度型多功能檢測器，它利用高能光電離檢測樣品成份，較低檢測下限可達(dá)5～10PPB級濃度（5×10 -9～10×10 -9）。特別是當(dāng)背景氣體N2，Ar，Ne，He，H2等氣體時，可檢測其中的雜質(zhì)成份包括：H2，Ar，Ne，O2，CH4，CO，CO2。目前這種檢測器配套的氣相色譜儀已在各大高純氣體生產(chǎn)公司得到廣泛采用，并有逐步替代傳統(tǒng)氦離子化檢測器配套的氣相色譜儀趨勢。

（1）工作原理

放電離子化檢測器的氣相色譜儀結(jié)構(gòu)如下圖所示。該放電型檢測器由電離室和放電室兩部分組成，兩室之間有狹路相通。當(dāng)在放電室內(nèi)的兩個高壓電極上加以適量高壓電后，兩電極之間就會產(chǎn)生放電，從而得到一束高能量的紫外光輻射（400-500nm）。高能紫外光被引入射向電離室內(nèi)，在這過程中，高能光子直接照射樣品成份中被測雜質(zhì)分子，使其電離形成離子，同時高能光子首先將載氣氦離子激發(fā)至亞穩(wěn)態(tài)（He*），然后具有較高能量的He*再與樣品中雜質(zhì)分子發(fā)生非彈性碰撞并使電離。此時在集電極上加以適當(dāng)電壓收集被電離的雜質(zhì)分子，并將其信號放大記錄即得到被測成份的譜峰。由于光子和亞穩(wěn)態(tài)氦原子均具有較高能量（24.8ev），因此可使包括氖在內(nèi)的一切物質(zhì)分子電離,所以，DID是一種通用型檢測器。

（2）儀器特點

1.高純氦（≥99.9999％He）為載氣時，其對各雜質(zhì)組分的靈敏度比氬（或其他氣體）為載氣提高幾十倍以上，直接進(jìn)樣幾毫升氣體樣品便可獲得＜1×10-9的靈敏度。

2.根據(jù)實際需要，選用不同色譜柱可以測定多種高純氣中多種雜質(zhì)氣體成分，還可以配接毛細(xì)管柱，擴(kuò)大分離效能，檢測更多種成份。

3.采用中心切割閥時，在靠前柱內(nèi)分離的主組分可在進(jìn)第二柱分離之前放空，使其余組分在第二柱內(nèi)得到完全分離，從而解決了主組分峰掩蓋雜質(zhì)峰問題，且保持10－9級靈敏度。

4.在測定高純氧及高純氫中微量及痕量雜質(zhì)時，可配附屬設(shè)備－脫氧阱和氫分離器，在樣品氣進(jìn)入色譜柱進(jìn)行分離之前，將其中主要成份氧和氫脫掉，不僅使被測組分的分離避免了主組分峰的干擾，同時也進(jìn)一步提高了儀器檢測靈敏度。

（3）分析實例–氦放電型（DID）氣相色譜儀測定高純氫中雜質(zhì)

色譜條件：以He為載氣，流速30ml/min，柱長4.88m，內(nèi)徑3.175mm，內(nèi)填5A分子篩；柱溫為105℃；量程為20mV；樣氣量為1ml；氫分離器溫度為300℃。